高電壓
高壓中頻電源供應器
產品應用
- ATN-HVMS 是一款 40 kHz 等離子發生器,最大輸出功率為 5kW 或 10 kW,專為 PECVD 或等離子清洗應用中的等離子激發而設計。
- 該裝置能夠在 5000V RMS 輸出下提供高達 1OkW 的功率。 輸出為平衡式,可驅動2個對稱電極。 典型應用是大型工藝室的 PECVD 工藝。 一個獨特的功能是內置 2 個(標準)或 3 個(根據要求)的高壓匹配變壓器,用戶只需將兩根同軸電纜連接到電極上。
產品特色
- 內置輸出匹配變壓器,無需外接盒。
- 保護:過流、負載開路、電弧、過壓、過溫。
- 環境溫度高達40°C 的全功率。
- 前面板顯示屏使安裝和故障排除更加容易。
- 高效率>90%。